Fa'amama Fa'amau C-Seal Fa'atekonolosi IGS mo Faiga Kesi Semiconductor Ultra-Pure
Fa'amatalaga
O faamama fa'apipi'i luga o le HENGKO ua mamanuina e fa'afetaui ai mana'oga faigata o faiga kesi tu'ufa'atasi e fa'aaogaina i meafaigaluega semiconductor OEM. O lo'o ofoina atu le fa'amamāina ta'imua i le alamanuia i le 0.003 µm, o nei faamama e fa'amautinoa ai le fa'atinoga tulaga ese ma le fa'atuatuaina fa'atasi ai ma le lelei o le pu'eina o vaega o le ≥99.9999999% (9-LRV) i le 120 slpm.
O nei faamama ua fausia mai le pauta u'amea e le gaoia 316L ua fa'apipi'iina mo le elemene faamama ma le pusa, e ogatasi ma fa'amatalaga a le SEMI F86-0304, e aofia ai vaega e lua-pu mo faiga tufatufaina atu o le kesi 1.125” ma le fa'atulagaga C-seal. Latou te lagolagoina le mamafa maualuga o le ulufale mai o le 3.4 MPa i le 100°C ma le eseesega maualuga o le mamafa o le fa'agaioiga o le 0.69 MPa i le 100°C.
O nei faamama faapitoa, e fetaui ma faʻamatalaga uma o le faʻamaufaʻailoga ituaiga-C ma le ituaiga-W, e ausia ai le mama i lalo o le eleele faatasi ai ma le faʻasaʻolotoina o vaega o
Fa'atasi ai ma se fa'auma o le Ra< 1.6 µm i fafo ma Ra< 0.13 µm i totonu, ua mamanuina e tatalia le vevela maualuga e oo atu i le 460°C. Ua mamanuina mo le faigofie ona tuufaatasia ma faaleleia atili o mamanu modular, o nei faamama e faafaigofie ai le faapipiiina ma le tausiga, e fesoasoani ai e faaleleia atili le faatinoga o le polokalama i le tuuina atu o kesi semiconductor ma le puleaina o galuega.
Fa'ailoga o le Oloa
▶ Fausiaina atoa o le u'amea e le gaoia 316L
▶ Fa'ata'ita'iga la'ititi, fausaga la'ititi, sefe ai le avanoa
▶ Uiga sili ona lelei mo le suia ma le fa'aumatia o le kesi
▶ Tete'e i le vevela maualuga, mamafa maualuga, ma le 'ele
▶ Pusa u'amea e le gaoia 316L ua fa'apala eletise
▶ Fa'apipi'i ma tausiga faigofie ma lelei
▶ Fa'amaufa'ailoga fa'amekanika, e le'i fa'apipi'iina i le ala fa'asalalau
Pepa Fa'amaumauga
| Fa'atulagaga Fa'apitoa | Taua |
|---|---|
| Meafaitino o le Elemene Faamama | Pauta Sintered Uamea e le gaoia 316L |
| Meafaitino mo Fale | Uamea e le gaoia 316L |
| Mamafa Maualuga o le Ulufale Mai | 3.4 MPa @ 100°C |
| Eseesega Fa'agaioiga Maualuga | 0.69 MPa @ 100°C |
| Fuainumera o le Fa'amaoniga o le Helium | 1x10⁻¹¹ cc/min |
| Fuainumera o le Puta o le Su'ega o le Helium | 1x10⁻⁹ cc/min |
| Togafitiga o luga | Luga i Fafo Ra< 1.6 μm |
| Luga i Totonu o le Ra< 0.13 μm | |
| Vevela Maualuga o le Fa'agaioiga | 460°C |
| Lelei o le Puipuia o Vaega | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (MPPS Fa'asino, vaega uma) |
| Mamā o le Alavai | Fa'asa'olotoina o le vaega:< 0.03 vaega/lita (< 1 fasi/ft³) |
| Mea e fesuisuia'i:< 10 ppb susu | |
| Tele o le Fa'alavelaveina o le Vaega | ≥0.003 μm |
| Tafega o le Tafega | 0 ~ 120 slpm |
Tele
O le numera o le vaega e mafai ona e okaina ma faʻamatalaga o le tele:
| Fa'ata'ita'iga o le Oloa | Tafega o le Tafe | Maualuga H (mm) | Sa'o lelei o le fa'amamāina | Tulaga Fa'amamāina |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51.6 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82.9 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167.9 | 0.003 μm | C |
Fa'aoga Masani
Mo le fa'aaogaina ma le W-seal ma le C-seal, 1.125” ma le 1.5” faiga fa'apipi'i kesi modular e fa'apipi'i i luga.
Auina mai lau savali ia i matou:
