Fa'amamāina Mama Maualuga mo le Gaosiga o Semiconductor Mama Tele
Fa'amatalaga
Faamama Kasa Tafe Maualuga – Ua mamanuina faapitoa mo le faamamaina o le kesi e matua mama lava i le gaosiga o semiconductor. Ua mamanuina ma le sa'o mai le u'amea e le gaoia 316L, o lo'o i ai se mamanu o le tele o koluma po'o le fa'aputuina o le tisiketi e fa'amautinoa ai le maualalo o le tete'e i le maualuga o le tafe, fa'atasi ai ma le sa'o o le faamamaina e o'o atu i le 0.003μm e fa'afetaui ai mana'oga maualuga o le mama. O le fausiaina atoa o u'amea e avea ai ma fofo fa'amama lelei mo siosiomaga e maualuga le vevela.
Fa'ailoga o le Oloa
▶O fausaga uma o le u'amea e le gaoia 316L— E fa'amautinoa le tumau ma le tete'e atu i le 'ele.
▶Tafega Maualuga, Tete'e Maualalo— Fa'alelei mo le tafe maualuga ma le itiiti ifo o le leiloa o le mamafa.
▶Lelei Maualuga o le Taofiofia o Particles— Sili ona lelei mo le tausia o tulaga mama atoatoa.
▶Tetee i le Vevela Maualuga, le Mamafa, ma le 'Ele— Talafeagai mo siosiomaga faigata.
▶Fegalegaleai ma Eseese o Kasa Fa'agasologa— E mafai ona fa'aaogaina mo le tele o fa'aoga fa'apisinisi.
▶Lelei mo le Gaosiga o Potu Mama, Su'ega, ma le Afifiina— E lelei atoatoa mo le faʻaaogaina i siosiomaga faʻatonutonuina.
▶100% Su'ega Fa'amaoni— E faia su'ega atoatoa o le lelei o faamama ta'itasi mo le fa'amautinoaina o le lelei.
▶Su'ega 100% o le Pu'e o le Helium— Fa'amaonia e ala i le su'ega o le tafe o le helium e fa'amautinoa ai le fa'atuatuaina i fa'aoga taua.
Pepa Fa'amaumauga
Fa'atulagaga Fa'apitoa
| Fa'atulagaga | Fa'amatalaga |
|---|---|
| Meafaitino o le Elemene Faamama | Pa'u u'amea e le gaoia 316L ua fa'a'ofuina |
| Meafaitino mo Fale | Uamea e le gaoia 316L |
| Mamafa Maualuga o le Ulufale | 207 pa |
| Mamafa Eseesega o le Fa'agaioiga Maualuga | 5.2 pa |
| Fuainumera o le Fa'amaoniga o le Helium | 2 x 10⁻¹⁰ cc/min |
| Su'ega o le Helium i le fua faatatau o le tafe | 1 x 10⁻¹⁰ cc/min |
| Togafitiga o luga | |
| Luga i Fafo | Ra < 1.6 μm |
| Luga i totonu | Ra < 0.2 μm |
| Vevela Maualuga o le Fa'agaioiga | |
| Kasa Lē Galue | 400-500℃ |
| Kasa 'A'ai ma Gasegase | 50℃ |
| Lelei o le Taofiofia o Mea Fa'aputu | ≥99.9999999% (9LRV) @ 30 slpm |
| Mamā o le Alavai | ≤0.03 fasi/lita @ > 0.01 μm, 30 slpm |
| Tele o le Taofiofia o le Vaega | ≥0.003 μm |
Tele
O le numera o le vaega e mafai ona e okaina ma faʻamatalaga o le tele:
| Fa'ata'ita'iga o le Oloa | Meafaitino o le Elemene Faamama | Sa'o le Fa'amamāina (μm) | Ituaiga Feso'ota'iga |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | Uamea e le gaoia 316L | 10~0.003 | 1/4” |
| Z01B-00648 | Uamea e le gaoia 316L | 10~0.003 | 1/2” |
| Z01B-00649 | Uamea e le gaoia 316L | 10~0.003 | 1/8” |
| Z01B-00650 | Uamea e le gaoia 316L | 10~0.003 | 1” |
| E mafai ona fetu'una'i | Uamea e le gaoia 316L | 10~0.003 | E pei ona Manaʻomia |
Fa'aoga Masani
nisi o faʻaoga masani oFa'amama Maualuga ma Fa'amama AogamaFa'amama o le Tafe o le Kasa i le Gas Pad:
1. Gaosiga o Semiconductor
*Fa'amautinoa le sapalai o le kesi mama atoatoa mo le gaosiga o le wafer, etching, ma le fa'agasologa o le chemical vapor deposition (CVD).
*Tausia le mama maualuga i totonu o faiga tufatufaina atu o kasa tetele mo le nitrogen, argon, ma isi kasa feavea'i.
2. Gaosiga o Faletalavai
*Tu'uina atu le kasa mama ma e leai ni fasi mea mo siosiomaga taua o gaosiga.
*Lagolagoina le fa'amamāina maualuga le mama mo potu mama ma siosiomaga fa'atonutonuina ina ia fa'atumauina le lelei o oloa.
3. Faiga o le Kesi i le Fale Su'esu'e
*Fa'aaogaina i totonu o fale su'esu'e e fa'amamā ai vaitafe kasa i masini fa'ata'ita'i e pei o le chromatography kasa ma le spectrometry o le tele o kasa.
*Fa'amautinoaina o kasa mama maualuga mo su'esu'ega ma fa'ata'ita'iga, puipuia ai meafaigaluega maaleale.
4. Fa'agasologa o Mea'ai ma Meainu
*Fa'amamā le CO₂ ma isi kasa e fa'aaogaina i le fa'akāponi, afifiina, ma le teuina, e tausia ai le saogalemu ma le lelei o mea'ai.
*Ia mautinoa le sapalai o kasa e aunoa ma le pisia i totonu o fale gaosi oloa, aemaise lava mo kamupani gaosi kasa tetele.
5. Alamanuia o le Suauu ma le Kesi
*Fa'amamāina vaitafe kasa masani i le fa'amamāina o le kesi pad, aveese ai mea leaga a'o le'i teuina pe felauaiga.
*Puipuia meafaigaluega i lalo ifo o le vai e ala i le aveeseina o mea leaga, susu, ma mea le mama i totonu o faiga e tafe ai le kesi maualuga le mamafa.
6. Gaosiga Fa'akemikolo
*Fa'amamā kasa aoga e pei o le nitrogen ma le argon e fa'aaogaina i le gaosiga ma tali atu o vaila'au.
*Tausia le mama o le kasa e puipuia ai le faaleagaina ma le feteenai o le tali atu.
7. Vaalele ma le Puipuiga
*Tu'uina atu kasa mama maualuga i siosiomaga gaosi ma su'ega mo meafaitino ma vaega o le ea.
*Ia mautinoa le mamā tutusa o le kasa i totonu o siosiomaga fa'atonutonuina mo le fa'apotopotoina o va'alele ma mea faigaluega tau puipuiga.
8. Gaosiga o le Malosiaga (Laʻau Malosiaga)
*Fa'amamā kasa e maualuga le mamafa mo le fa'amālūlūina ma fa'agasologa o galuega, aemaise lava i tulaga e maualuga le vevela.
*Fa'aleleia atili le lelei ma fa'aitiitia ai le fa'aleagaina o masini e ala i le puipuia o le fa'aleagaina o le kesi fa'amālūlū ma faiga e tafe ai.
O nei fE taua tele masini fa'amama i so'o se fa'aoga e mana'omia ai le tafe lelei o le kesi, fa'aleleia atili ai le puipuiga o masini,
le lelei o le faagasologa, ma le lelei o le oloa mulimuli i alamanuia eseese.
Auina mai lau savali ia i matou:
